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主题:请教各位同行,窄带无规律漂移解决办法。

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请教各位同行,窄带无规律漂移解决办法。  发帖心情 Post By:2014-3-18 11:47:23 [显示全部帖子]

我们最近镀的窄带出现无规律漂移。

机器:光驰OTFC-1100,2007年买的。光学间接监控,晶控辅助,离子源,控制波长1084NM。

膜料:sio2,ta2o5.

膜系要求:1064NM在0°12°15°,T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带,0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。

现象:无规律的偏薄或者偏厚5~20NM,这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常,后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常,突然出现漂移的。出现漂移后,我们修改控制波长进行修正,会出现膜系完全和上罩曲线一样,没动的现象。再修改控制波长,,膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊,呵呵,举个例子啊,这次是中心波长在1078,我控制波长移薄5个,正常的话出来的中心波长应该在1073,结果出来中心波长还在1078,然后我又移薄5个,这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是 镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。

解决办法:1.先是怀疑单色仪有问题,换来厂家的装上,没解决。

              2.我们有红外单色仪,换上用红外波长控制,没解决。

              3.换控制波长,波长换到700,没解决。

              4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了,买来新的换上,用平行度小的光控片,没解决。

              5.怀疑离子源问题,买来新的栅网换上,没解决。

              6.更换旋转架滚珠,没解决。

              7.更换修正板,没解决。

              8.测量温度,正常,没解决。

目前就实验了这么多办法,实在想不出来了,各位同行有没有好的提议,大家都来讨论交流一下。










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  发帖心情 Post By:2014-3-20 19:19:06 [显示全部帖子]

哎呀,终于有人回复了,呵呵,我们邮件联系一下图片点击可在新窗口打开查看


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  发帖心情 Post By:2014-3-26 10:10:52 [显示全部帖子]

Post By:2014-3-24 15:19:35

应该是作业方法的问题吧,我们以前也有过这样的问题

能不能具体点啊?我们也怀疑是作业方法的问题,我们现在都坚持让一个人操作了。

[此贴子已经被作者于2014-3-26 10:11:09编辑过]

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