主题：[原创]2007光学薄膜技术培训班培训总结

2.5讲座

超低损耗光学薄膜

在激光陀螺、引力波测试和激光核聚变中使用的光学薄膜对损耗的要求非常高，通常要求总损耗小于50ppm。

总损耗L=S+A+X，其中S：散射； A：吸收； X：反射膜的透过，增透膜的反射。

S和A取决于材料的选择和工艺过程,X取决于膜系的设计。在设计膜系时要考虑膜厚相对误差、膜层表面散射损耗、膜层吸收、缺陷和薄膜微观结构的影响。

超低损耗光学薄膜的基底是超光滑表面，超光滑表面活性强、易吸附、微小颗粒难于去除，需要进行超声和兆声清洗。

超低损耗薄膜采用离子束溅射镀制，镀制过程中需要控制折射率、吸收系数的稳定性和膜层的表面散射。

极紫外和软X射线光学薄膜

极紫外和软X射线光学主要应用于高分辨率光学系统和元素特征谱线的观察。

极紫外和软X射线光学薄膜采用离子束溅射方式制备，制备时要求高低折射率材料没有任何杂质和不纯，界面粗糙度和过渡层尽可能做到最小，每一层膜的厚度高精度控制

金属薄膜极其微结构的特性

金属薄膜由于其反射带宽、截止宽、偏振小、制备简单，在反射镜、诱导透射滤光片和消偏振薄膜等场合广泛应用。表面等离子激光波（SPW）仅存在于金属表面的TM波，金属膜表面态在表面化学反应，环境污染和生物体变异等方面得到重要应用。

金属薄膜微结构具有透射增强、光束集束、准直、负折射和亚波长成象等光学特性。

光学膜没做过，很感兴趣，学习一下！

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