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主题:[原创]要求5nm的膜厚

帅哥哟,离线,有人找我吗?
kingjun
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[原创]要求5nm的膜厚  发帖心情 Post By:2005-9-11 9:24:06 [只看该作者]

如果要求5nm的膜厚,真空镀膜能做到吗?需要多少精度的设备?国内有设备提供吗?









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tonylxt
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  发帖心情 Post By:2006-5-21 13:10:21 [只看该作者]

物理厚度还是光学厚度?
什么膜,要具体情况知道才行

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kingjun
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  发帖心情 Post By:2006-5-23 17:49:35 [只看该作者]

多层金属膜,物理厚度。先1000nm铝,再250nm氟化镁,最后是5nm得Cr。不知道可以吗?最好是能够连续镀得设备。

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lxihu
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  发帖心情 Post By:2006-5-25 22:52:14 [只看该作者]

应该是可以的,采用多源镀膜设备,最好是采用光学镀膜专用测厚仪器,可以很精确控制厚度

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